OP5240I(膜厚儀)
欧美亚韩一区二区三区(chún)半導體專注於半導體工藝設備(bèi)的研發、製造、銷售及售後一體化服務,提供半(bàn)導體廠商工藝設備(bèi)的一站式解決方案。
關鍵詞:
半導體設備、半導體(tǐ)工藝
所屬分類:
產品描述
Opti-Probe 5000 用於(yú)非(fēi)接(jiē)觸式晶圓(yuán)膜厚(hòu)測量,通過測量單層(céng)或多層晶圓上薄膜的光學參數(反射光和建模的薄膜參數),計算出薄(báo)膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技術來(lái)測量薄膜厚度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進行測量(liàng)。
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