TP630(離子注入)

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關鍵詞:

半導體設備、半導(dǎo)體(tǐ)工藝

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產品谘詢:

產品描述(shù)

TP630 利用 PUMP 激光器對(duì)晶圓表麵加熱來測量反射晶格 damage 程度熱波特征間接(jiē)計算出與離子植入量成線性(xìng)關係的 TW 值(infinity)。

產品詢價

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